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              鍍膜時間設置: 1~0946 sec/ step
              旋涂速度:0~ 8290 rpm
              旋涂加速度:0 ~ 36876 rpm/s (空載)   
              轉速穩定性:1 rpm
              轉速可重復性:1 rpm                                                                                                              
              鍍膜尺寸:φ10 ~ 109 mm                                1
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